【志宏校长奖•科学研究】杨冬野:材料科学赋能集成电路装备

发布者:阮勤超发布时间:2024-03-15浏览次数:10

编者按:2024年是学校全面贯彻落实党的二十大精神的关键之年,是落实十四五规划的攻坚之年。学校擘画发展宏图,建设人才高地,出台《太阳成集团tyc411志宏校长奖评选办法(试行)》,旨在鼓励潜心教育教学、科学研究的教职人员,深刻把握新时代推动新质生产力发展的科学内涵和基本特征,洞悉新时代“科教融合”的发展路径,做教书育人的“大先生”、科技自立自强的“助推人”,在学校持续优化的制度保障和激励平台上大有作为。  

杨冬野教授,是学校太阳成集团tyc411智能材料研发及产业化科研团队负责人,其带领的科研团队,面对近年来集成电路装备的产业亟需,开展了高刚度不锈钢复合材料研制和开发”“稀土氧化物等离子防护涂层粉末制备基于数字孪生技术的平台控制系统的研发工作,收获基于平板显示干法刻蚀系列G4.5G5.5G6.5G7平台研发的横向系列课题3项,累计科研经费1200余万元,授权发明专利10余项,专利成果转化3项,授权软著2项。科研团队与行业企业深度合作,设计并开发用于半导体平板显示干法刻蚀系列平台,研制并完成型号定型和首台套的销售,实现了该装备在半导体工程领域的应用,是太阳成集团tyc411坚持依托现代产业办学、服务经济社会发展的办学宗旨的优秀践行者。

杨冬野教授及团队高度重视学科交叉、互补对创新发展的重要作用,始终秉承团队合作“1+1”大于“2”的协同效应,聚焦集成电路领域,跨学科组建了智能材料研发及产业化科研团队,旨在通过汇聚不同学科的专业知识和技术,共同推动集成电路装备的技术积累。在科研团队的日常工作中,组织学科间的研讨与交流,鼓励团队成员打破学科壁垒,以更开放的姿态进行合作与交流,团队成员间结合“材料研发”“工业设计”和“数字化”方面的科研基础,勇于尝试新的研究思路和方法,于挫败中积累经验,在集成电路干法刻蚀平台的硬件和软件的设计开发技术上实现创新。

杨冬野教授及团队始终坚持科研反哺教育的执教理念,致力于提升材料类应用型人才的培养质量。与学生建立了定期交流研讨的机制,通过不断深化产教融合,将产业需求与教育目标紧密结合,为学生提供丰富的实践机会和职业发展指导。指导学生参加各类竞赛,屡获佳绩,荣获上海市新材料大赛中荣获一等奖,挑战杯上海市大学生创业计划竞赛铜奖等。指导的研究生人均发表SCI论文2篇,申请专利2项。有3名学生被评为上海市优秀毕业生,为集成电路、材料行业和社会培养了一批优秀人才。